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北京朋成科技有限公司

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工业痕量气体分析仪(H₂O, NH₃, HCI 和 HF)

LGR-ICOS GLA231系列高性能分析仪

拥有 HF、HCI 和 NH₃ 中的单一气体或多气体配置
还能报告准确和精确的 H₂O 测量结果
标配 0 - 5 V 及模拟 4 - 20 mA 输出，可选 Modbus TCP
优化的数据处理，使得能以最优的性能测量亚 ppb级浓度
主密码保护可确保分析仪和数据安全
定制的标定和性能认证文件包
通过触摸屏进行气体浓度和分析仪状态的数字化显示
优化的零气性能，确保可靠地确认过程事件

产品概述技术参数应用场景

LGR-ICOS AMC监测分析仪能以极高的精度和灵敏度，对环境空气或惰性工业气流中的氟化氢、氯化氢、氨和水蒸气进行高度灵敏地测量。该系列分析仪适用于进行半导体应用中的气载污染物监测、FOUP 监测和各种惰性气体背景下的测量，能以最佳的整体性能报告宽浓度范围内的测量结果。

该 LGR-ICOS 痕量气体分析仪采用我们已获专利的离轴 ICOS 技术，也是第四代光腔增强吸收技术。该离轴ICOS 技术相比传统的光腔衰荡光谱（CRDS）技术具有许多优势，包括性能更加稳健和可靠，测量时间更短，光腔和镜片可现场维修等。

所有 ABB 仪器都配有内部计算机（Linux OS），能将每次分析的结果和被测气体的完整光谱都保存到内部硬盘上以实现长期无人值守的运行。数据可以通过模拟、数字（RS232）和 Modbus 输出连续地导出。而且，仪器可以通过互联网进行远程控制。通过远程访问，用户可在无需到达现场的情况下，控制仪器，获取数据，以及诊断故障。

这些 LGR-ICOS 分析仪操作简单，启动迅速（只需几分钟），无需现场标定，且预防维护需求极少。和所有ABB 分析仪一样，LGR-ICOS 工业痕量气体分析仪由我们专业的服务和技术支持人员来支持。

项目（气体）	H₂O	NH₃	HCI	HF	H₂O
精度（1σ）	<50 ppm (1 s) <20 ppm (10 s) <10 ppm (100 s)	<1 ppb (1 s) <0.3 ppb (10 s) <0.1 ppb (100 s)	<0.3 ppb (1 s) <0.1 ppb (10 s) <0.035 ppb (100 s)	<0.1 ppb (1 s) <0.05 ppb (10 s) <0.025 ppb (100 s)	<25 ppm (1 s) <20 ppm (10 s) <5 ppm (100 s)
检测限（ LOD）	50 ppm @ 100 s	0.3 ppb @ 100 s	0.1 ppb @ 100 s	0.075 ppb @ 100 s	25 ppm @ 100 s
准确度 *	>7,000 ppm	±0.3 ppb	±0.15 ppb	±0.1 ppb	>7,000 ppm
准确度 *	= 1 % FSD	或读数的 5%，取较大者			= 1% FSD
分析仪之间的差异 vs 平均值（10sec.）	≤1000 ppm	±0.4 ppb	±0.2 ppb	±0.2 ppb	≤1000 ppm
分析仪之间的差异 vs 平均值（10sec.）	= ±10 %	或读数的 5%，取较大者			= ±10 %
线性量程	最高 30,000 ppm	最高 10,000 ppb	HCI：最高 2,000 ppb HF：最高 2,000 ppb		最高 30,000 ppm
样气流速（lpm）	1.4 - 2.4		1.1 - 1.9
响应时间（T90，T10）	25 s (HF/HCl)、10 s (NH₃)
数据速率（用户可选择）	1、10、20、100 秒
环境温度	0-45 °C（32 - 122 °F）
环境湿度	<99%（无冷凝）
样气入口压力	分析仪入口处：0 - 0.35 bar（0 - 5 psig）
电源	170 W（稳态）
输出信号	RS232C、模拟、以太网、USB、Modbus TCP/IP
测量原理	离轴 ICOS（CEAS）
标定周期	不建议进行标定。典型验证周期 = 1 年
标志和认证	CE、CSA、IECEX CB Scheme
原产地	加拿大